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 ■ベルト駆動で大排気速度 ■大容量チャンバの排気に最適 ■逃し弁(オプション)により吸入圧力の高い領域でも最大限に排気能力を発揮 ■プロセスに合わせて最適な組み合わせを提案 外観寸法図 |
| 呼び排気速度※1 |
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6000 | ||
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| 許容圧力差[標準モータ使用時] |
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4.7 | ||
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| 到達圧力 |
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7.0×10-2 | ||
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1.3×10-2 | |||
| 基準補助ポンプの排気速度 |
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690∼900 | ||
| 回転数 |
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1200 | ||
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| 標準モータ出力 |
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11 | ||
| 油量 |
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2.5 | ||
| 冷却水量※2 |
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1.1 | ||
| 質量 |
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1060 | ||
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940 |
| ※1：実効排気速度は補助ポンプにより変わります。詳しくは当社営業担当までお問い合わせ下さい。 ※2：冷却水温度は最高30℃を目安にしてください。  許容周囲温度：運転時は+10℃∼+40℃、保管時は-5℃∼+60℃。凍結防止のため保管時には水を抜いておいて下さい。 |
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