| 形式 |
ISP-90 |
| 設計排氣速度 |
L/min (
50/60Hz ) |
90 / 108 |
| 到達壓力 |
Pa {Torr} |
5 {3.8×10-2} |
| 馬達功率 |
kW |
0.15 |
| 電源電壓 |
V |
單相 |
100、115 / 200、230 |
| 三相 |
無 |
| 噪音値 |
dB(A) |
52（at Air Flush 60） |
| 洩漏量 |
Pa・L/s
{mbar・L/s} |
1x10-2｛1x10-4｝ |
| 重量 |
kg |
單相 |
14 |
| 三相 |
無 |
| 水蒸氣處理量 |
g/day |
5（at Air Flush） |
| AIR FLASH量 |
L/min |
7（at Air Flush） |
| 外形尺寸 |
mm |
單相 |
L308×W214×H225 |
| 三相 |
無 |
| 吸氣口徑 |
NW25 |
| 排氣口徑 |
NW16 |
| 冷卻方式 |
空冷 |
| 標準配備 |
AIR FLASH、計時器 |
| 形式 |
ISP-250C |
ISP-500C |
| 設計排氣速度 |
L/min
( 50/60Hz ) |
250/300 |
500/600 |
| 到達壓力 |
Pa
{Torr} |
1.6 {1.2×10-2} |
1.0 {7.5×10-3} |
| 馬達功率 |
kW |
0.4 |
0.6 |
| 電源電壓 |
V |
單相 |
100、115 /
200、230 |
| 三相 |
200、208、230
/ 380、415、460 |
| 噪音值 |
dB(A) |
58 ( at Air Flush 66 ) |
60 ( at Air Flush 68 ) |
| 洩漏量 |
Pa・L/s
{mbar・L/s} |
1x10-2｛1x10-4｝ |
| 質量 |
kg |
單相 |
25 |
44 |
| 三相 |
23 |
38 |
| 水蒸氣處理量 |
g/day |
25（at Air
Flush） |
| AIR
FLASH量 |
L/min |
10（at Air
Flush） |
| 外型尺寸 |
mm |
單相 |
L400×W252×H336 |
L443×W328×H372
(L443×W298×H397) |
| 三相 |
L370×W252×H336 |
L372×W328×H372
(L372×W298×H397) |
| 吸氣口徑 |
NW25 |
NW40 |
| 排氣口徑 |
NW16 |
NW25 |
| 冷卻方式 |
空冷 |
| 標準配備 |
AIR FLASH、計時器 |
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|
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