本幫浦是針對潔淨製程所開發的真空排氣系統。請勿使用於排放對於人體有害的氣體、具爆炸起火危險性的氣體、腐蝕性氣體、藥品、溶劑、粉塵等類的製程作業。用於前述製程之幫浦,本公司無法受理維修保養,祈請理解見諒。

請在10℃∼40℃温度的環境使用。