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油回転真空ポンプについて 油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で、最も経済性・操作性に優れたポンプであり、幅広い用途に対応しているため、世界中でたくさん使用されています。 生産設備や実験設備などで簡単に真空状態を得る事ができるほか、ルーツ真空ポンプと組合せて大容量の真空ポンプユニット(真空システム)として、また真空設備の粗引き及び補助排気用ポンプとしても使用されています。 大阪真空の油回転真空ポンプ 油回転真空ポンプは、構造の違いから、揺動ピストン形(キニータイプ)、回転翼形(ゲーデタイプ)、カム形(センコタイプ)などに分類されます。大阪真空が採用している揺動ピストン形は、耐久性に優れ、構造上、吸入空間を大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造です。 ポンプの油は、ポンプを安全に運転するための重要なポイントです。大阪真空の油回転真空ポンプは、低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、長く安心してご使用いただけます。また、精密かつ堅牢な設計で、かつメンテナンスしやすい構造となっているので、適切なメンテナンスをして頂くことにより、20年、30年といった長期間ご使用いただいている例もあります。 |
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ルーツ真空ポンプとは ルーツ真空ポンプとは、まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプです。油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれます。 ルーツ真空ポンプは通常、ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用します。 大阪真空のルーツ真空ポンプ 大阪真空のモータ直結型ルーツ真空ポンプ(RDシリーズ、RAシリーズ)はコンパクト設計ですのでシステムとしてまとめる事が容易にできます。またベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ(Rシリーズ)もラインアップしており、宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応しています。 ルーツ真空ポンプの運転条件として、吸入圧と背圧に許容圧力差があります。許容範囲を超えて運転すると、モータが過負荷になり、また発熱が大きくなり冷却しきれなくなります。そこで大阪真空のルーツ真空ポンプ排気系では、逃し弁を取り付けることにより許容範囲を超えた場合に自動的に圧力調整を行い、吸入圧力の高い領域でも最大限に排気能力を発揮する事ができます。(オプション) また、インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で圧力コントロールをしたりする事ができます。また機種や地域によっては、増速回転させることにより排気速度を増加(最大約40%増)させることも可能です。(オプション) |